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浙江大学2025年4至5月政府采购意向-电子束曝光系统EBL 详细情况
2025年02月24日 10:18 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束曝光系统EBL | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光系统EBL |
| 预算金额： | 132.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305-电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | EBL电子束曝光系统，具有亚纳米级的高分辨率，具有高精度图案生成功能，具有多材料兼容处理功能，具有灵活设计和调控功能。拟采购一台，合同签订后七个月内到货，提供安装、培训服务，整机提供 1 年的免费保修，免费提供电镜操作软件的升级。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。