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中国科学技术大学2022年6至12月政府采购意向-磁控溅射系统 详细情况
2022年06月09日 10:57 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2022年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 生长高质量自旋及磁性薄膜材料，为制备高性能自旋电子器件提供优质材料。包含超高真空系统、真空泵组、制程腔真空量测系统、定制超高真空三轴样品架、loadlock、阴极、电源、操控系统、其他（气路、冷却、空压、烘烤系统，工艺调试，设备运输及安装调试），满足安全：①紧急停止：如果按下EMO开关(应急机关闭)或主保险丝短路，系统电源关闭&紧急停止后，真空阀/DCP/All heater/Vacuum Robot/All Servo /Carrier/All Pump Normal Operating保持关闭状态，All Pump Normal Operating；②若interlock system无法满足操作条件或置于危险区域，interlock system 需保证无法操作以保证人员安全；③若操作过程中出现故障，报警面板上的指示灯闪烁。 |
| 预计采购时间： | 2022-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。