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西安电子科技大学2023年8月政府采购意向-等离子体化学气相沉积机PECVD 详细情况
2023年06月26日 17:27 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体化学气相沉积机PECVD | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体化学气相沉积机PECVD |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 一台。一个cassette可以放置不少于5个4/6inch基板托盘；加热温度均匀性300±5℃；配置气体100%SiH4, NH3, N2O, N2, O2, CF4；射频电源功率不低于600W；成膜厚度不均匀性与再现性≤4%。 |
| 预计采购时间： | 2023-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。