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中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-超高真空异质材料分子束沉积工作站 详细情况
2025年10月17日 18:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空异质材料分子束沉积工作站 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 超高真空异质材料分子束沉积工作站 |
| 预算金额： | 1880.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02209900其他航空航天工业设备 |
| 采购需求概况 ： | （1）生长室极限真空：优于2.0E-11Torr（通液氮后测量）；
（2）生长室RGA分压测试：mass2＜2.0E-10，mass（3-200）＜5.0E-11；
（3）生长最大晶圆尺寸：≥6英寸，兼容4英寸、3×3英寸；
（4）衬底温度：最高温度≥800℃（衬底表面温度），控温精度≤±0.2℃；
（5）衬底温度均匀性：<=±5℃@800℃ ，<=±1℃@190℃；
（6）源炉温度控制精度≤±0.1℃；
（7）源炉束流稳定性≤1%/24h；
（8）表面缺陷密度≤500cm-2（碲镉汞厚度≥6μm）。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。