A02069900其他电气设备

采购项目名称：西南交通大学离子束辅助表面改性及强化增效设备采购。采购数量：1台。拟实现主要功能目标：（1) 表面清洁度：污染物低于3个原子层； (2) 表面活化层：1-3个原子层；(3) 改性层控制精度：±1.5nm；(4) 气体种类：包括Cl2、BCl3、Ar、SF6、O2、CHF3等多种气体；(5) 真空度：真空度优于1E-3Pa；(6) 等离子体刻蚀均匀性：±3%~±5%；(7) 离子束能量分辨率：≤1.0eV；(8) 离子源功率：离子源功率不低于1kW；(9) 自动化程度：具备自动化运行系统。 服务要求：需满足安装调试、售后保障等要求。 安全要求：须符合国家相关安全标准，设备投入使用前须通过具有资质的第三方机构的安全评估；供货方须提供设备安全操作规程及应急预案，并指导采购方建立安全管理体系。时限要求：合同签订后，供货方须在约定期限内完成设备制造并发货，设备到场后30日内完成安装调试。