A02100699其他试验仪器及装置

该设备为半导体材料生长设备的核心机械组成部分之一。其能够实现对生长载体在三维线性方向上的高精度准直调节与定位，主要用于生长前样品的水平校正、工作距离精确控制及生长区域的对中调节，确保生长过程中的准直性。该平台系统通过稳定的机械平动与闭环反馈控制，有效解决了样品装夹后可能产生的水平偏差或高度不一致问题，为材料外延生长提供精确的几何对准条件。此外，该系统在维持环境腔体密封性方面也具有不可替代的作用。采购数量为22套。符合质量、服务、安全及时限的要求。