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中国科学院高能物理研究所2025年11月政府采购意向-聚焦离子束电子束双束显微镜 详细情况
2025年11月06日 12:08 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 聚焦离子束电子束双束显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院高能物理研究所2025年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束电子束双束显微镜 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购一台聚焦离子束电子束双束显微镜，主要用于HEPS实验线站进行先进材料样品和光学元件的高精度微加工，并表征样品的表面微观结构；主要部件和技术参数如下：1.离子光学系统
1.1离子源：液态镓离子源；
1.2分辨率：≤3 nm @ 30 kV；
1.3探针电流：1 pA~100 nA；
1.4加速电压：500 V~35 kV；
2.电子光学系统
2.1电子枪：肖特基场发射电子枪；
2.2分辨率：≤0.9 nm@15kV, ≤1.6nm@1.0kV；
2.3加速电压范围：20 V～35 kV |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。