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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院晶圆缺陷自动检测仪采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院晶圆缺陷自动检测仪采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院晶圆缺陷自动检测仪采购项目 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 晶圆缺陷自动检测仪；
数量：1套；
用途：主要用于自动扫描晶圆缺陷检测，并依据对缺陷的定义自动进行分类，从而提高wafer制造过程中的工艺控制能力；
技术要求：（列主要技术指标及安装部署要求）
工艺名称 指标名称 技术参数及工艺要求
产品规格 晶圆尺寸 支持8吋晶圆
晶圆厚度 0.5mm～1mm
测试工艺 测试项 stain沾污；
scratch划痕；
bump凸起；
pit凹坑；
crack裂痕；
residue残胶；
partical颗粒；
poor coating涂层不良；
miss align有图图案未对齐；
exdefocus有图曝光重影/离焦缺陷检测；
最小缺陷 ≥0.5μm（采用硅基标准验证）；
检测系统 *工作模式 全自动Die 2 Die / Die to Golden image ；
物镜倍率 5X，10X，20X，50X,100X；
检测要求 支持明场、暗场、混场检测，具备明暗场自动切换功能
Review要求 支持100X review，远程查询review历史检测结果；
物镜切换 自动切换；
聚焦方式 支持激光实时自动聚焦和图像自适应聚焦功能；
运动机构 *晶圆传输 双臂自动传输机械手；
双 open cassette；
寻边装置 Flat、notch自动寻边；
XY轴运动精度 xy方向定点绝对精度±0.5um，重复精度±0.2um；
防震系统 气浮隔震，隔震频率≤2.5HZ
交付时间要求：6个月；
交付地点要求:指定地点；
售后服务要求（含培训）： |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。