当前位置：采购意向项目详情
东南大学2025年1至3月政府采购意向- 快速退火系 统 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速退火系 统 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 快速退火系 统 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 设备最大工艺片尺寸：8 寸晶圆
2. 典 型工 艺温度 范 围 ：400℃~ 1150℃
3. 升温速率：硅衬底 10～100℃ /sec(可编程)
4. 降温速率：硅衬底 10～100℃ /sec(不可编程)
5. 温度控制重复性： ± 1℃（在温 度为 1150℃ , 测量 5 片）
6. 温度测量计包括高温计和热电 偶的精确度： ± 1℃（ 100℃~ 1150℃)
7. 温度控制均匀性：±5℃（8 寸硅 片，温度:1150℃) |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。