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中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统 详细情况
2025年10月17日 18:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统 |
| 预算金额： | 390.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02209900其他航空航天工业设备 |
| 采购需求概况 ： | （1）具备表面低温等离子处理功能；
（2）衬底直径：6-8英寸；
（3）镀膜非均匀性：<=1%；
（4）薄膜击穿电压：>=10MV/cm；
（5）样品温度：25-400℃。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。