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北京航空航天大学2025年12月政府采购意向-北京航空航天大学生物与医学工程学院磁控溅射镀膜系统 详细情况
2025年11月07日 15:03 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 北京航空航天大学生物与医学工程学院磁控溅射镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京航空航天大学2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京航空航天大学 |
| 采购项目名称： | 北京航空航天大学生物与医学工程学院磁控溅射镀膜系统 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402-真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 计划采购磁控溅射镀膜系统一套，用于微纳电子器件加工，制造相关电子器件主要应用于微纳生物传感和脑机接口等应用方向，为教学和科研中微纳电子器件制备提供重要制造平台支撑。性能要求：真空腔体内部安装磁控靶枪位4个，实际安装靶枪数3支，采用多级泵系统来抽腔体真空，主室极限真空优于6×10-8Torr，在卸真空后，30分钟内达到5×10-6 Torr；1样品台尺寸4英寸，薄膜沉积均匀性：4英寸薄膜厚度均匀性优于±5%（STD偏差）；质保期不少于2年 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。