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中山大学2025年1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院共溅射磁控溅射系统采购项目 详细情况
2024年12月02日 20:34 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院共溅射磁控溅射系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院共溅射磁控溅射系统采购项目 |
| 预算金额： | 208.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：共溅射磁控溅射系统
数量：1套
用途：共溅射沉积Ti、Au、Cr、Al2O3和IGZO等材料。
技术要求（仅列主要，详见采购文件）：
*1. 工艺腔体极限真空度优于 3 × 10E-7 Torr；
*2. 八英寸基片上镀膜均匀性优于± 3%（边缘5 mm不算）；
*3. 样品台加热可达到800℃，控温精度±1℃；
*4. 镀膜工艺腔体配备对N2抽速不小于1000 /s的分子泵；
*5. 进样腔体配备对N2抽速不小于210 /s的分子泵，并且对N2的压缩比≥1 × 10E11；
*6. 镀膜工艺腔体配备高精度薄膜真空计，量程为10E-1 -10E-4 Torr；
Δ8. 镀膜腔和进样腔均需配备一个全量程真空计（量程：ATM-1×10E-9 mbar）和一个前级真空计（量程：ATM-5×10E-4 mbar）；
*9. 配备4只4英寸磁控溅射靶枪，每只靶枪均兼容直流或者射频溅射模式。
*10. 配备1套300 W射频电源含自动匹配控制器；配备1套1对2 RF切换盒，射频电源可以在2个靶枪之间自动切换。
*11. 配备2套1000W直流电源，支持恒流、恒压、恒定功率三种输出模式，可远程自动控制。
具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，6个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。