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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-等离子刻蚀 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 等离子刻蚀 |
| 预算金额： | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
工艺腔本底真空：≤0.5 mTorr；
工艺腔漏气率：≤1mTorr/min；
工艺控压范围：5-85 mTorr；
工艺腔控温范围：室温-100℃；
射频电源功率：≥1200W；
射频电源频率：13.56MHz；
配置工艺气体：6路，包括Ar,O2，He,N2，SF6, CF6，Cl2；
流量控制：支持6个或更多的MFC’s用于ICP高速刻蚀，带气动截止阀；
真空系统：泵组包含涡轮分子泵和旋叶真空泵；
分子泵抽速：≥2000L/s；
操作控制：整个系统通过预装的Lab View软件和触摸监控系统，实现PC全自动控制； |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。