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中国科学院大学2022年11至12月政府采购意向-中国科学院大学集成电路学院计算光刻软件采购项目 详细情况
2022年11月02日 16:21 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中国科学院大学集成电路学院计算光刻软件采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院大学 |
| 采购项目名称： | 中国科学院大学集成电路学院计算光刻软件采购项目 |
| 预算金额： | 140.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C010313电子、通信与自动控制技术研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 计算光刻中的光学临近效应修正（OPC）和光源掩模联合优化（SMO）可以在有限升级光刻设备的情况下，极大地提高光刻设备的性能，采购的软件可以为目前组内课题和自研软件提供有效的对比和校准验证。OPC通过优化掩模图形，提高光刻质量，SMO能同时优化掩模和光源，进而提高光刻质量，是保证光刻质量的重要手段。采购的软件需要满足提出的技术规格及服务要求，时限为3年。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。