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西安理工大学2026年03月至2026年04月政府采购意向-多靶磁控溅射镀膜机 详细情况
2026年03月09日 13:51 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 多靶磁控溅射镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安理工大学2026年03月至2026年04月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安理工大学 |
| 采购项目名称： | 多靶磁控溅射镀膜机 |
| 预算金额： | 68.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:多靶磁控溅射镀膜机 采购数量:1.0000台 主要功能或目标:用于精确制备单层或多层各类薄膜材料，以满足集成电路制造以及智能检测元器件研制中的金属电极、半导体薄膜和光学薄膜的材料制备需求 需满足的要求:支持金属材料、氧化物材料、半导体材料的溅射镀膜。设备采用镀膜室+送取样室的双腔室结构，配置三只溅射靶以满足制备多层薄膜材料的要求，配备一只离子源，用于样片表面的清洗和活化。Φ6英寸样片镀膜不均匀性小于±5%；基片控温范围超过500° |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。