A032103电子工业专用生产设备

第三代薄膜太阳能电池制备设备，1 套。原子层沉积模块：外热式反应 腔体、反应温度 50-200°C、样品尺寸大于 8 英寸、4 路前驱体源。真空热蒸镀模块：有 效蒸镀面积≥220mm*220mm、镀膜不均匀性≤±5％、双蒸发电源、双探头。磁控溅射 模块：有效溅射面积≥220mm*220mm、直流+射频双电源、带角度调节Φ6 英寸磁控靶 2 只、溅射不均匀性：Φ10 英寸范围内≤±5％。激光加工模块：线宽≤60um、有效加 工面积大于 300mm*300mm、脉宽＜10ps、热效应区≤5um，激光功率 10W、波长 532nm&1064nm。模拟光源检测模块：光斑有效辐照面积≥220*220mm、3A+等级、J-V 测试软件、硅标准电池。液相精密成膜模块：调速精度 1mm/s、真空面板尺寸≥ 210mm*210mm、真空吸附、基板加热室温~200℃、热均匀性≤±1.5%。