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西安电子科技大学2024年1月政府采购意向-射频器件薄膜溅射台 详细情况
2023年12月29日 10:05 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 射频器件薄膜溅射台 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2024年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 射频器件薄膜溅射台 |
| 预算金额： | 370.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备配有Load-Lock系统，可完成自动/手动送样/取样过程；可满足6英寸及以下各种规格尺寸的样品的溅射；具有多个靶枪，并且满足强磁性材质溅射和介质类材质溅射的功能；具备低温冷泵系统；工艺腔室极限真空达到10-8Torr量级；6英寸片内均匀性不大于+5%；可通过windows系统独立实时控制系统实现设备操控；具备异常情况报警与保护设置，具备完善的逻辑程序互锁保护系统。 |
| 预计采购时间： | 2024-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。