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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-金属电子束蒸镀系统 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 金属电子束蒸镀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 金属电子束蒸镀系统 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
蒸镀腔极限真空：≤ 1×10-9 Torr；
工艺腔体回压率：≥ 1×10-6 Torr·L/s；
电子枪功率：10 KW；
坩埚蒸发源：≥4；
腔体尺寸：8英寸兼容；
蒸镀均匀性：片内均匀性≤±5%；
蒸发速率：0.05-1nm/s之间可调；
蒸镀金属种类：Ti, Au, Ni, Cr, Al |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。