当前位置：采购意向项目详情
中国科学院大学2023年1至11月政府采购意向-中科院北京纳米能源与系统研究所多靶磁控溅射薄膜沉积系统 详细情况
2023年02月02日 13:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中科院北京纳米能源与系统研究所多靶磁控溅射薄膜沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院大学2023年1至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院大学 |
| 采购项目名称： | 中科院北京纳米能源与系统研究所多靶磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 预算金额： | 240.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 电工生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购多靶磁控溅射薄膜沉积系统1套，可以完成突破三中纳米器件制备和阵列式系统集成，低维压电材料体系的可控制备、新器件制备等任务。磁控溅射是一种物理气相沉积方法，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。通过改变参数条件精确控制薄膜的厚度，所制备的薄膜纯度高、致密性好、均匀性优异，易于实现微-纳器件的批量制备以及微-纳器件的阵列化和集成化，该设备主要用于沉积纳米级-微米级的金属及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，为纳米材料表征平台制备样品。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。