A032103电子工业专用生产设备

集成电路学院拟采购电子束蒸发设备1套。 主要技术指标：极限真空度≤1.3×10-4Pa；在10分钟内真空度由大气状态达到＜1.0×10-3Pa，45分钟内真空度达到＜3.0×10-4Pa；衬底尺寸2英寸基板，可扩容到6英寸；坩埚容量≤3cc，电子枪放置坩埚的数量≥4个，放置坩埚的位置上直径不超过22mm，下直径不超过18mm，高度不超过11mm；膜厚均匀性2英寸wafer，2000？ Al≤±5%以下（片内、片间、炉间均需达到）高真空抽气泵采用冷泵，抽速大于740L/sec。 交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。 交付地点：中山大学深圳校区理学园。 售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。