A02100301 显微镜

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。本项目需求的扫描电子显微镜主要功能必须包含：实现对半导体样品，材料样品及不导电聚合物等各种样品进行超高分辨形貌表征，对于不导电样品可以实现不喷金低电压高分辨成像，低电压二次电子分辨率≤0.8nm@1kV，同时设备必须具备元素成份的点扫描和面扫描分析功能，所配备能谱窗口面积不小于100mm2。配备主动式减震台和主动式消磁器以满足高分辨拍摄场地要求。