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东北大学2022年11月政府采购意向-面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--刻蚀机 详细情况
2022年11月03日 10:50 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 东北大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北大学 |
| 采购项目名称： | 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--刻蚀机 |
| 预算金额： | 386.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033412教学专用仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1) GaAs刻蚀工艺：
(1)刻蚀速率：> 500 nm/min
(2)垂直度：85度+/-3度
(3)片内不均匀性：<±5% (3-6英寸基片，距边缘5mm，点数≥5)
(4)片间不一致性：<±3 %(3-6英寸基片，距边缘5mm，点数≥5)
(5)选择比：>10:1
(6)刻蚀深度：＞4um
2) GaN刻蚀工艺：
(1)刻蚀速率：> 200 nm/min
(2)垂直度：85度+/-3度
(3)片内不均匀性：<±5% (3-6英寸基片，距边缘5mm，点数≥5)
(4)片间不一致性：<±3 %(3-6英寸基片，距边缘5mm，点数≥5)
(5)选择比：>5:1
(6)刻蚀深度：＞0.5um
(7)Si刻蚀工艺
(8)刻蚀速率：20-200nm/min
(9)垂直度：85度+/-3度
(10)片内不均匀性：<±4% (4英寸基片，距边缘5mm，点数≥5)
(11)片间不一致性：<±3 %(4英寸基片，距边缘5mm，点数≥5)
(12)选择比：>0.5：1
(13)刻蚀深度：200nm
(14)深宽比：最大3：1。
具体以采购文件为准。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。