当前位置：采购意向项目详情
中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-直写紫外曝光机 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 直写紫外曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 直写紫外曝光机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | "非接触式曝光技术，曝光100x100mm2的区域<11分钟
基板到8英寸 x 8英寸
分辨率:<1um
曝光100x100mm2的区域<11分钟
非接触式曝光
光源为405 nm和375 nm
背面对齐
实时自动对焦" |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。