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中国科学技术大学2026年5至12月政府采购意向-无掩模光刻机 详细情况
2026年05月21日 15:16 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 无掩模光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2026年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 无掩模光刻机 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 兼容8寸及以下晶圆以及7寸及以下掩膜版；兼容正、负紫外胶的曝光；可实现优于500nm的图形分辨，可加工600nm 线宽1:1的光栅；正面套刻误差不超过200nm；扫描速率不低于200mm2/min。 |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。