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zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-感应耦合等离子体多腔刻蚀设备 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 感应耦合等离子体多腔刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体多腔刻蚀设备 |
| 预算金额： | 9694.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 满足超导量子比特芯片中 CPW 层（如 Ta 材料）及铝、铌等多种材料的刻蚀需求，避免交叉污染，保障刻蚀工艺精度，刻蚀均匀性优于5% |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。