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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-金属分子束外延 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 金属分子束外延 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 金属分子束外延 |
| 预算金额： | 1650.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
工艺腔体极限真空：小于1×10-10 Torr；
超高真空抽气系统：冷凝泵，离子泵，钛升华泵；
衬底温度：350-800℃温度范围可调；
片间温度均匀性：≤4℃；
样品台旋转速度：40/min；
坩埚数目：≥4个；
坩埚才离职：PBN；
不锈钢氮气吹扫管，配水冷压缩机；
镀膜速率：0.1-2nm/s范围可调；
高真空铜垫圈密封；
Sb金属沉积配置裂解源；
蒸发挡板开关次数：≥100万次；
蒸发挡板开关时间：≤1s |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。