当前位置：采购意向项目详情
zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-电感耦合等离子体化学气相沉积系统(ICPPECVD) 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子体化学气相沉积系统(ICPPECVD) | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体化学气相沉积系统(ICPPECVD) |
| 预算金额： | 5250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 满足超导量子处理器等的介质镀膜及硅氧化需求，实现衬底12英寸，沉积氧化硅薄膜厚度均匀性优于3%@1微米、沉积温度：200 - 350 摄氏度 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。