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复旦大学2023年11月政府采购意向-8英寸深紫外分布式曝光机 详细情况
2023年10月16日 15:05 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 8英寸深紫外分布式曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 8英寸深紫外分布式曝光机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 该设备具有基于主流操作系统的图形化控制软件、稳定可靠的三轴式晶圆契形误差补偿系统等，具备手动对准模式，晶圆对准采用全电动对准台等。主要技术参数包括但不限于：分辨率优于0.8um；365nm下光强为32mw/cm2，405nm下光强为 88mw/cm2；光强均匀度优于±2.5％，其中，在最大晶圆尺寸区域测量至少5个点；配置消衍射及微镜式光学系统等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。