当前位置：采购意向项目详情
zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-原子层刻蚀设备 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 原子层刻蚀设备 |
| 预算金额： | 750.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
标配4路气体反应物工艺气路；
气体管路采用全套316L EP不锈钢管路+VCR密封，管路具有在线吹扫功能；
本底真空:＜5×10-6 Torr；
真空漏率:＜5×10-7 Pa·L/S；
反应腔体内腔：内表面整体采用特殊表面处理，可抗HF刻蚀；
反应腔体温度:最高450℃；
片内均匀性：≤±5%；
刻蚀深度精度：≤1nm；
刻蚀速率：≤1nm/cycle |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。