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华南理工大学2022年11月政府采购意向-等离子增强原子层沉积系统 详细情况
2022年10月17日 08:33 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 等离子增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 325.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 本次采购设备为一台等离子增强原子层沉积系统，可用来低温（室温－450℃）沉积各种高质量的纳米薄膜与纳米结构阵列，生长材料种类包括：金属氧化物（如Al2O3, ZnO, TiO2, HfO2, Nb2O5,ZrO2等）、金属（如：Pt, Ru, Ir, Au）以及多元氧化物（如HfZrO、IGZO等）材料等，衬底最大可达8英寸，薄膜厚度均匀性±2%。设备工艺能力引进对制备原子层级别厚度的材料具有不可替代的作用。本设备预计年可开机时间：1500-2000 小时/年，且设备保证具有至少一年的质保服务期。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。