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中国科学院宁波材料技术与工程研究所2022年6至11月政府采购意向-互联磁控溅射系统 详细情况
2022年04月29日 17:12 来源: 中国政府采购网 【打印】
互联磁控溅射系统 | |
项目所在采购意向: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所2022年6至11月政府采购意向 |
采购单位: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
采购项目名称: | 互联磁控溅射系统 |
预算金额: | 220.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02050909金属表面处理设备 |
采购需求概况 : | 高质量磁性薄膜和器件制备是突破磁性薄膜和物理基础问题的关键;团队于2012年购置的高真空磁控溅射系统服役已近10年,面临老化问题。此外,开发先进的自旋-轨道力矩等磁电子器件往往离不开磁性金属多层膜与化合物、氧化物等其他薄膜的集成,受靶源数量和磁控溅射类型的束缚,单独的磁控溅射系统难以完成所有上述薄膜的制备,亟需采购兼具高质量磁性金属多层膜制备能力和多种类化合物薄膜制备能力的超高真空磁控互联系统。 |
预计采购时间: | 2022-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。