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zycgr240415012026年4至5月政府采购意向-离子束溅射沉积系统 详细情况
2026年02月06日 09:33 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束溅射沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012026年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 离子束溅射沉积系统 |
| 预算金额： | 1350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402-真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 1.自动真空进样装置（LoadLock），可传载8英寸及以下样片，漏率：≤1mTorr/min
2.★配有沉积离子源：三层栅网的考夫曼源；直径不低于15cm 直径，功率不低于1250W。
3.★带有直流DC电源，不低于600V电压。
4.带有腔体内衬2只。
5.★电极直径可承载8英寸及以下样片，旋转速度不低于400rpm。
6.反应腔室配备耐腐前级干泵和分子泵,分子泵抽速≥1600L/s; 干泵抽速：≥95m3/hr 7. 工艺：6寸片镀金、铬、钛片内膜厚均匀性优于2%，片间重复性优于3% |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。