A02100309激光仪器

原子层沉积设备，数量：1套。该设备用于学院科研使用。技术要求：1. 样品台为8英寸双腔腔体，独立的内外双腔结构，内腔以及样品台都可控制升降，预留loadlock接口，可接矩形传输阀，漏率小于等于 5×10-10 Pa·m3/s；内腔采用特殊涂层减少薄膜沉积，可将整个内腔拆下维护，内腔上采用双匀气结构，最大可放置8英寸样品，兼容小尺寸样品；2. 配备6路前驱体源输送管路，氧源前源输送管路与金属前驱体源输送管路单独进入反应腔体。其中，常温源1路，加热源2路，载气辅助源3路，配备载气管路和质量流量控制器。3. 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4-1000mbar；真空抽气管道可以烘烤至150℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃，控制精度±1℃。4. 管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数；。交付时间要求：签订合同后三个月内。交付地点要求:中山大学深圳校区工学园1-4层。售后服务要求（含培训）：1.设备原厂免费保修期不少于2年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算；2.供应商须在发货前协助用户完成安装条件的准备工作；3.收到用户安装条件就绪的通知后，安装工程师3天内到安装现场进行设备的安装和调试；4.保修期内如用户在产品使用过程中出现故障，保修承担方须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，保修承担方须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；5.每年至少提供一次免费上门检修服务。