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天津大学2025年9月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机ICP 详细情况
2025年07月30日 16:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 感应耦合等离子体刻蚀机ICP | |
| 项目所在采购意向： | 天津大学2025年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 天津大学 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子体刻蚀机ICP |
| 预算金额： | 169.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要目的是实现高精度、高效率的表面刻蚀。刻蚀材料包括二维材料、有机材料、硅基材料等适用性工艺。
1.射频、滤波、光电等领域的多种材料刻蚀与失效分析刻蚀。
2.多领域量产经验、高温工艺能力。
3.提供研发所需的丰富工艺数据库支持。
最大样品尺寸需要做到6英寸，具有中心进气和四周进气的功能。腔体表面要求阳极氧化处理，配备真空系统。配置5路工艺气体+1路背He。工艺参数可以通过移动存储介质导入，实现参数随工艺人员走，保证工艺的保密性。电源系统：1000w射频功率源，自动匹配；不小于500W偏压源，自动匹配。 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。