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中山大学2024年12至1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目 详细情况
2024年12月02日 19:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2024年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目 |
| 预算金额： | 80.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 用途：现有高真空Cluster热蒸发设备无法实现对超2000℃的高质量单晶钼金属薄膜的大面积可控可重复制备，已不能满足当前科研需要，故需对其中的高温加热装置进行升级改造。具体地，新增超高温加热装置1套。
技术要求（详见采购文件）：
1.上加热器：
1.1加热组件及材料的最高温可加热达1600℃，采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造；
1.2 加热器具水冷管路1组,用于对加热器的降温冷却；
2.腔体上盖板及水冷管路 1组,供腔体降温使用；
3.腔体窗口隔热板 1组，避免窗口因制程温度过高而破裂；
4.下加热器：
★4.1加热组件及材料最高温可加热达2000℃，采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造；
4.2 加热器样品载台可旋转；
4.3 加热器具水冷管路1组, 供加热器降温冷却；
5.腔体增加水冷管路1组, 避免材料制备中腔体各部件温度过高造成变形；
6.电源变压器 1组,供上、下加热器加热使用；
7.电力供应配套：配合新制加热器的更新配套；
8.传送阀门高温保护装置1组,避免高温造成传送阀门过温损坏而无法开关；
9.高温加热器耗材配件3组；
10.修改供应水路水排模块 1组；
11.软件：控制点位、操作程序配合更新撰写,以符合修改后的系统功能使用；
▲12.新增的超高温加热装置须与原高真空Cluter热蒸发系统兼容，并满足以下指标:
A.真空度测试 : 腔体本底压力可抽至< 8 x 10-6 torr
B.加热器测试 : 下加热器可加热至最高温 2000℃
C.镀膜测试 : 可进行单晶钼金属薄膜沉积，沉积面积不小于20 mm×20 mm
交付时间要求：2025年4月15日
交付地点要求：广州市海珠区中山大学南校园557栋
售后服务要求：
售后服务：供货厂家在中国至少一家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师和应用工程师，能提供及时有效的售后服务。
预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的高温加热装置进行预安装 (主要包括升温及保温测试等)，同时提供装置的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。
安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。需要在现场解决问题的，在5个工作日内到达仪器 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。