A02100300-光学仪器

（一）采购标的名称：原子层厚度材料光谱学表征系统 （二）采购标的需实现的主要功能或者目标 原子层厚度材料光谱学表征系统可以实现变温条件下的拉曼光谱、偏振、二次谐波、光电流等测量，是表征1nm制程芯片原子层厚材料的必备工具。包含多个激发波段的拉曼光谱组件、PL模块、全自动偏振模块、二次谐波成像模块、光电流成像模块、4K-325K低温恒温闭循环低振动模块、以及室温到1000℃的Linkam真空高温热台模块，可同时满足多种场景光谱学表征的需求。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后6个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。