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北京大学2024年11月政府采购意向-电感耦合等离子体化学气相沉积系统 详细情况
2024年09月27日 16:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子体化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 本设备主要用于建立校级微纳工艺平台晶圆表面低温介质的沉积，提供SiO2， SiN等薄膜和非晶硅制备工艺，支撑器件芯片研制和工艺研发。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。