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中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向-193nm激光器 详细情况

2025年04月14日 18:55 来源: 中国政府采购网 打印

193nm激光器
项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向
采购单位: 中国科学院微电子研究所
采购项目名称: 193nm激光器
预算金额: 258.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100309-激光仪器
采购需求概况 :
193nm激光器,1台,中心波长193.368nm,输出功率>3mW,发散角<0.15mrad
预计采购时间: 2025-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。