当前位置：采购意向项目详情
中山大学2026年5至6月政府采购意向-中山大学柔性电子学院真空镀膜及手套箱系统采购项目 详细情况
2026年04月27日 17:47 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学柔性电子学院真空镀膜及手套箱系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学柔性电子学院真空镀膜及手套箱系统采购项目 |
| 预算金额： | 148.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 高真空电子束蒸发镀膜机（核心产品），数量：1套；双工位手套箱，数量：4套。
该批设备主要用于在高真空环境下制备金属及化合物薄膜，并在极低水氧环境下进行样品保护、转移及后续工艺操作。是开展有机电子、柔性电子、微纳加工等本科教学的核心基础设备，用于制备高质量的电极和功能层，确保材料与器件在制备过程中的稳定性。
技术要求如下：
（一）高真空电子束蒸发镀膜机（核心产品）：
1.真空腔室：Φ500×600mm；极限真空优于5.0×10？？Pa，工作真空≤5.0×10？？Pa；
2.抽速：从大气抽至8.0×10？？Pa ≤20min；
3.基片台：5英寸，可旋转0-25r/min，配气动挡板；
4.电子枪：E型，功率8KW，6穴坩埚；
5.膜厚监控仪：进口品牌，显示精度±0.1Å；
6.控制方式：PLC+触摸屏手自动控制，具有完备报警与保护功能。
（二）双工位手套箱：
1.箱体：304不锈钢，单工位操作长度≥1220mm，内含多层搁物架；
2.过渡舱：大过渡舱直径≤360mm，小过渡舱直径≤150mm，与箱体为可拆卸法兰连接；
3.玻璃视窗：实芯O型密封圈法兰视窗结构，实现无泄漏；
4.气体净化系统：自动再生，水氧含量＜1ppm；
5.循环能力：集成风机流量≥90m³/h，变频控制；
6.分析仪：水分析仪采用五氧化二磷传感器，氧分析仪采用二氧化锆传感器，均可再生，维护成本低；
7.配置箱内有机溶剂吸附器。
交付时间要求：
2026年11月30日前。
售后服务要求：
整机免费保修5年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。