A021127综合测量仪

面向光电器件工业化量产制备测试系统包含四个仪器主体各一台。 设备主要用于制备光电器件和作系统全面的性能表征。各部分具体参数如下： A. 光伏器件性能测试系统量子效率测试仪 1. 波长范围300~1800 nm (AC Mode); 2. 高灵敏 EQE 测试系统：a. 150W高稳定卤素灯光源 b. 测量范围1.12eV – 2eV c. 聚焦1mm光斑 d. 10fA 分辨率 e.； 3. EL EQE 测试系统: a. 波长范围: 200nm - 1.1μm b. 光谱分辨率: ~5.2 nm FWHM (~100 um slit) B. 双激光刻蚀划线机 加工幅面最大 100x100mm 平台面积 240x240mm，具备精准对位功能 XYR 三轴数控平台，重复定位精度 0.01mm 聚焦系统：Z 轴定位，行程 550mm，重复定位精度 0.01mm 过滤系统：内置颗粒烟雾过滤系统（无法过滤有害气体） 吹扫系统：吹扫宽度 340mm，有效洁净刻蚀后基片表面 X/Y 轴直线精度：±10μ m 红光激光器：技术指标（可刻蚀P1/P4）： 波长：1064nm； 平均功率： 30W@50kHz 脉冲重复频率： 20-60KHz； 脉冲宽度： <20ns@50KHz 平均功率稳定性： ＜3%； 空间模式： TEM00M2＜1.3 偏振度： ＞100： 1Vertical；输出口光斑尺寸： 0.8mm 光斑圆度： ＞90%； 振镜线速度： 3000mm/s 绿光激光器：技术指标（可刻蚀P1//P2/P3）： 波长： 532nm； 平均功率： 7W@50kHz 最大脉冲能量 0.24mj@50kHz： 脉冲重复频率在： 1-150KHz 脉冲宽度： <20ns@50KHz；平均功率稳定性： <3% 空间模式： TEM00(M2<105)； 偏振度： ＞100： 1Vertical 输出口光斑大小： 0.8mm； 光斑圆度： ＞90% C. 上转换显微成像原位光谱测试系统 1.分辨率：0.03nm 2.焦距：550mm 3.显微镜：正置显微镜，含3个物镜 4.激发光：980nm, 532nm, 1590nm 5. 荧光光谱测试范围：350-1100nm 6.位移台扫描范围：XY向各200um 7.空间分辨率：1μm D. 等离子清洗仪 1. 清洗舱：长大于等于6.5 (165mm)英寸，直径大于等于6 (152mm)英寸；工作参数范围：电压716V-740V DC；电流10-40 mA DC；工作功率：10 - 25 W 2. 常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等 3. 档位功率设置：输入功率200W 4. 配套无油真空泵浦 附带软管、软管箍等连接套件。 5. 包含真空实时监视单元 包含真空管路转接件、真空数据采集、真空数据传感器和真空数值显示单元。 6. 扩展型真空样品托盘 石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度。 交付时间：3个月 交付地点：中山大学东校区化学材料综合楼 售后服务要求：保证仪器培训和三年质保