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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-特殊气体供气系统 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 特殊气体供气系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 特殊气体供气系统 |
| 预算金额： | 1800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
特气供气系统：
A、全自动气柜GC-18台
1.PLC全自动控制（自动切换、自动吹扫、抽真空等）
2.双钢瓶，含钢瓶接头
3.1/4“盘面，配置吹扫，电子秤
B、全自动气架GR-12台
1.PLC全自动控制（自动切换、自动吹扫、抽真空等）
2.双钢瓶，含钢瓶接头
3.1/4“盘面，配置吹扫，电子秤
C、阀门分配箱VMB-30台
1. 半自动控制
2. 主管：手动阀+PT+扩充阀
3. 支路：手动阀+调压阀+PG+气动阀
4.一进四出,3/8"进x1/4"出
D、阀门分配面板VMP-15台
1. 手动控制
2. 主管：手动阀+PG+扩充阀
3. 支路：手动阀+调压阀+PG+手动阀
4.一进四出,3/8"进x1/4"出
E、气体泄漏侦测侦系统
电化学式侦测器-200颗
1.电化学原理
2.泵吸工作方式
F、气体Vent处理器
G、等离子水洗尾气处理设备-2台：
1.处理容量：600LPM；
2.处理气体种类有：CHF3、SF6、DCS、NF3、NH3、CH2F2、CH4、SIH4、N2、CF4、N2O等；
H、干式吸附尾气处理设备-2台：
1.吸附剂容量：100L；
2.处理气体种类：CL2、HBR、F2/KR/NE等；
I、加热水洗式尾气处理设备-2台：
1.处理量≥600slpm；
2.不需要接工艺冷却水冷却，全自动控制，配置循环水泵，重力排水。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。