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zycgr240415012025年7至9月政府采购意向-快速退火炉 详细情况
2025年06月04日 22:20 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速退火炉 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 快速退火炉 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062001工业电热设备（电炉） |
| 采购需求概况 ： | 1.支持最大200mm（8英寸）晶圆。
2.最快升温速率100度/秒。
3.双红外灯管加热（2*21kW）,顶部和底部双层加热设计。
4.最快降温速率T=1000 °C>400 °C 200 K/min，T= 400 °C>150 °C 30 K/min。
5.最高真空度 10-3 hPa |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。