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上海交通大学2024年11月政府采购意向-ICP刻蚀机 详细情况
2024年09月30日 13:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| ICP刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | ICP刻蚀机 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购1台电感耦合等离子ICP刻蚀机，用于实现不小于8inch晶圆的硅、二氧化铪、铌酸锂、氧化硅、氮化硅以及各类介质层等材料的刻蚀，能实现快速的刻蚀速率同时可获得良好的物理形貌。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。