A02100301显微镜

1. 成像系统技术要求：1.1BSE背散射成像分辨率：≤2.0 nm;1.2 SE二次电子成像分辨率：≤0.9 nm@15 kV ，≤1.3 nm@1 kV（高分辨模式，金颗粒检测）；1.3最大束流≥400nA，电子束流连续可调；1.4放大倍数范围可调范围≥:2-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调；1.5采用中间镜技术，通过控制电磁光阑实现束斑最优化；支持束流连续调整，（非可更换式物镜光阑）。2探测器要求：2.1 样品室内 Everhart-Thornley 式二次电子探测器 (SE)；2.2 镜筒内可实现能量过滤的 Multidetector 探测器 （MD）；2.3 镜筒内可接收轴向BSE/SE 探测器（Axial）；2.4 样品室马达驱动伸缩式环形闪烁器型背散射电子探测器；2.5 皮安计，包含防碰撞报警功能；2.6 样品室红外摄像头3 样品室要求：3.1样品室直径：230mm;3.2移动范围:X方向≥80 mm,Y方向≥60mm,Z方向≥45mm,倾斜角度≥﹣80°到80°, 可360度连续旋转。4.能谱仪要求：4.1探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，芯片面积≥80mm2，有效面积≥60mm2，超薄窗设计，独立真空；探头采用电动马达台，一键进出。探指采用纤细化等技术提高固体角，探测器探指直径≤18.0mm，改善系统分析效率；4.2处理单元与计算机采用分立式设计，系统最大输出计数率≥600,000kcps；4.3配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)，实现1-30kV精确定量。4.4定量分析：提供两种定量方法，并可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果。

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