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北京航空航天大学2025年12月政府采购意向-北京航空航天大学生物与医学工程学院离子束刻蚀机 详细情况
2025年11月07日 15:03 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 北京航空航天大学生物与医学工程学院离子束刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 北京航空航天大学2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京航空航天大学 |
| 采购项目名称： | 北京航空航天大学生物与医学工程学院离子束刻蚀机 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002-电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 计划采购离子束刻蚀机一套，用于微纳电子器件刻蚀加工，制造相关电子器件主要应用于微纳生物传感和脑机接口等应用方向，为教学和科研中微纳电子器件制备提供重要制造平台支撑。性能要求：刻蚀室真空度极限≤9×10-5Pa；适用于各种金属薄膜、硬质薄膜等，刻蚀速率：≥100 - 2000À/min，离子源口径12cm，射频离子源；Ar+离子能量范围100 - 1000eV；离子束功率密度1w/cm2；离子束流密度1mA/cm2；刻蚀工作台15cm；刻蚀角度可调节，倾角调整角度 0 - 90°； |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。