A033499其他专用仪器仪表

纳米压印光刻设备，1台。纳米压印光刻已经从一种基于实验室的研究发展到一种强大的高容量制造方法，它能够满足当今制作微纳器件的需要，特别是半导体技术日益复杂的挑战。纳米压印在简单3D微纳米结构图形的批量加工上有优势；适合大面积简单图形重复结构的加工、成本控制严苛，这里我们常见的简单重复结构如：纳米柱阵列、孔阵列、光栅结构、六边形蜂窝结构；适用于光量子芯片、AR衍射光波导、超透镜、3D结构光、集成电路和生物芯片、光子晶体等前沿交叉学科领域研究，可推动我校量子态调控制造、微纳光学、集成光电子技术、虚拟现实与增强现实等学科方向的发展。