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上海交通大学2025年10至11月政府采购意向-氧化铪原子层沉积设备 详细情况
2025年09月15日 11:28 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 氧化铪原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2025年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 氧化铪原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 520.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1)沉积精度：单原子层（0.1–0.3 nm/cycle）；2)沉积速率：0.1–1 nm/cycle；3)均匀性：±4%（4 inch）；4)保形性：100%覆盖；5)真空度：<10？？ Torr； |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。