当前位置：采购意向项目详情
吉林大学2022年11至12月政府采购意向-激光直写式光刻机 详细情况
2022年10月14日 11:51 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光直写式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写式光刻机 |
| 预算金额： | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 购买激光直写式光刻机1台，用于高温超导量子磁传感器芯片制备，主要技术指标：曝光分辨率优于0.6um，行程精度优于0.8um，曝光速率不小于10mm2/min，线宽均匀性优于200nm，最大曝光面积不小于150mm×150mm，工作台基片尺寸不小于6″×6″，基片双面对准精度优于500nm。工艺线质保期不低于1年。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。