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南京大学2022年4月政府采购意向-等离子体气相沉积PECVD 详细情况
2022年03月21日 16:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体气相沉积PECVD | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2022年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体气相沉积PECVD |
| 预算金额： | 322.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称：等离子体增强化学气相沉积PECVD。数量：1套。主要功能：要求具备ICP-PECVD功能，主要用于高质量氧化硅、氮化硅薄膜材料的沉积。质保期：自仪器验收之日起不少于1年。 |
| 预计采购时间： | 2022-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。