当前位置:采购意向项目详情
华南理工大学2022年11月政府采购意向-高压脉冲磁控溅射系统 详细情况
2022年10月17日 08:33 来源: 中国政府采购网 【打印】
高压脉冲磁控溅射系统 | |
项目所在采购意向: | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
采购单位: | 华南理工大学 |
采购项目名称: | 高压脉冲磁控溅射系统 |
预算金额: | 450.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02100402物理特性分析仪器及校准仪器 |
采购需求概况 : | 高压脉冲(HiPIMS)磁控溅射系统是一种超高真空、高压脉冲溅射沉积薄膜的设备,是目前最先进的溅射技术
HiPIMS是高功率脉冲电源,可产生比传统DC电源高数十倍的瞬间脉冲电流,所以得到的等离子体的浓度要大很多,从而加快沉积速度,形成更致密,光滑且高附着力的薄膜,能大幅减少缺陷。HiPIMS脉冲功率高,平均功率较低,使靶材有足够时间冷却,工艺稳定性好;传统溅射是通过提高靶材功率提高靶材的电离,增加的热负荷是其局限性,HiPIMS解决了这一问题。
设备在加热系统、气体控制系统、冷却系统方面都提出了更高的要求,以便更精确的控制薄膜中的氧空位含量及其它气体的掺杂量,获得气体含量、生长温度方面的规律。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。